1. SuperView W1-Pro光學3D表面輪廓儀

      產品型號:SuperView W1-Pro

      產品名稱:光學3D表面輪廓儀

      • 影像系統:100W~400W像素可選
      • 幹涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
      • XY位移平臺:尺寸300×300mm,行程200×200mm,尺寸可選,電動
      • Z軸行程:100mm,電動
      • Z向掃描範圍:10mm
      • Z向分辨率:0.01nm
      • 可測樣品反射率:0.05%-100%
      • 水平調整範圍:±2°、±5°、±6°可選
      • 粗糙度RMS重複性:0.005nm
      • 臺階高測量:準確度0.3%,重複性0.08% 1σ
      • 主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、快速高效
      • 生產企業:深圳市世界杯下注平台儀器股份有限公司
      • 註釋:更多詳細產品信息,請自行下載解決方案查閱或者聯繫我們獲取

       

      詳細信息

      一、產品簡介

        SuperView W1-Pro光學3D表面輪廓儀是一款用於對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光幹涉技術爲原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描並建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,並獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

        SuperView W1-Pro光學3D表面輪廓儀可廣泛應用於半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及製造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、國防軍工、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300餘種2D、3D參數作爲評價標準。

      二、產品功能

      1.系統光源及壽命:雙LED光源(白光和綠光),10萬小時超長壽命,終身無需更換;

      2.測量模式:垂直掃描幹涉模式(VSI),相移幹涉模式(PSI),結合VSI和PSI的自適應通用測量模式(USI)

      3.多區域自動分析:自動獲取圖案化形貌區域的三維信息(高度、寬度、面積、體積、粗糙度、傾角等),同時具有自動統計分析功能。提供軟件截圖;

      4.一體化操作的測量與分析軟件,操作無須進行切換界面,預先設置好配置參數再進行測量,軟件自動統計測量數據並提供數據報表導出功能,即可快速實現批量測量功能。

      5.測量中提供自動多區域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調亮度等自動化功能。

      6.測量中提供拼接測量功能。

      7.分析中提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能,其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峯去噪等功能;濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區域和提取剖面等功能。

      8.分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依據國際標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數分析功能;幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特徵測量和直線度、圓度形位公差評定等功能;結構分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數和體積參數等功能。

      9.分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,設置分析模板,結合測量中提供的自動測量和批量測量功能,可實現對小尺寸精密器件的批量測量並直接獲取分析數據的功能。

       

      三、應用領域

        對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特徵進行測量和分析。

       

      半導體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC

      3C電子.藍寶石玻璃粗糙度、手機金屬殼模具瑕疵、手機油墨屏高度差

      超精密加工.光學透鏡

      精密加工.發動機葉片

      精密加工.金字塔型金剛石磁頭

      標準樣塊.單刻線臺階、多刻線粗糙度

       

      四、應用案例:

       

      複合材料測量

      西華大學水機葉片磨損檢測

      清華大學超光滑陶瓷樣件測量

      北航超疏水錶面形貌檢測

       

      五、樣品測試報告:

        點擊表格內圖片或文字可查看詳細報告數據

       

       

       光學玻璃鏡片樣品測試報告

      金屬片表面摩擦磨損樣品測試報告

      石英砂樣品測試報告

      手機配件樣品測試報告

      超光滑凹面樣品測試報告

      薄膜粗糙度測試報告

      微光學器件樣品測試報告

      微納結構樣品測試報告

      微透鏡陣列樣品測試報告

       

       

       

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